導(dǎo)航
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
● 最適合工藝過程中的薄膜高速測(cè)量
● 最短曝光時(shí)間1ms～※根據(jù)規(guī)格
● 支持遠(yuǎn)程測(cè)量
● 膜厚測(cè)量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）
基本配置
多點(diǎn)測(cè)量點(diǎn)切換對(duì)應(yīng)系統(tǒng)
在多點(diǎn)測(cè)量點(diǎn)切換對(duì)應(yīng)系統(tǒng)中，通過在TD方向預(yù)先設(shè)置任意寬度的多分支光纖，可以在不驅(qū)動(dòng)光纖的情況下測(cè)量TD方向的膜厚分布。可以作為涂層的條件和實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。
檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)為1式，通過光纖的光路切換可以進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)定。
橫動(dòng)單元對(duì)應(yīng)系統(tǒng)
在橫動(dòng)單元對(duì)應(yīng)系統(tǒng)中，通過在TD方向上驅(qū)動(dòng)橫動(dòng)單元，可以以任意寬度和任意間距測(cè)量TD方向的膜厚分布。
可以作為涂層條件提出和實(shí)時(shí)監(jiān)控使用。 由于通過排線單元的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量，因此無需準(zhǔn)備多臺(tái)檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理。
即使在真空環(huán)境下也可以在多點(diǎn)進(jìn)行反射、透射光譜測(cè)定
通過使用各種法蘭對(duì)應(yīng)的耐真空纖維，可以在高真空下測(cè)量反射、透射光譜。
另外，膜厚運(yùn)算不易受到基膜的上下移動(dòng)的影響，并且采用精度良好的薄膜測(cè)量大冢電子獨(dú)自的算法，可以作為實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。
產(chǎn)品規(guī)格
MCPD-9800仕様
| 型號(hào) | MCPD-9800 | ||||
2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |
| 測(cè)量波長(zhǎng)范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 |
| 膜厚范圍※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm |
| 膜厚/反射/透過/相位差 | 〇 | ||||
| 色測(cè)量 | 〇 | x | |||
| 掃描時(shí)間 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||
| 光斑直徑 | φ1.2mm | ||||
| 光纖長(zhǎng)度 | 1m～長(zhǎng)度需相商 | ||||
※膜厚值n=1.5的換算。由式樣而定
MCPD-6800仕様
| 型號(hào) | MCPD-6800 | |||
2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
| 測(cè)量波長(zhǎng)范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1000 |
| 膜厚范圍※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm |
| 膜厚/反射/透過/相位差/色測(cè)量 | 〇 | |||
| 掃描時(shí)間 | 16ms～65s | |||
| 光斑直徑 | φ1.2mm | |||
| 光纖長(zhǎng)度 | １ｍ～ 長(zhǎng)度需相商 | |||
※膜厚值n=1.5的換算。由式樣而定
